SF6濕度:

l 測(cè)量范圍:露點(diǎn)-80~+20℃(支持ppmv等)

l 露點(diǎn)精度:±2℃(當(dāng)露點(diǎn)溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點(diǎn))

l 分 辨 率:露點(diǎn)0.1℃或0.1ppm

l 重 復(fù) 性:±0.5℃

l 氣體流量:SF6調(diào)節(jié)在0.5~0.9L/min

l 探頭保護(hù):不銹鋼燒結(jié)過(guò)濾網(wǎng)

SF6純度:

l 測(cè)量范圍: 90~100% SF6;

l 精度和重復(fù)性: ±0.5%，與流量無(wú)關(guān);

l 響應(yīng)時(shí)間: 90%， 30s;

l 傳感器:第I代傳感器